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Quantitative two-dimensional dopant profile measurement and inverse modeling by scanning capacitance microscopy
扫描电容显微镜定量二维掺杂物分布测量及逆建模
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网址
https://doi.org/10.1063/1.114207
DOI
10.1063/1.114207 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Yande Huang; C. C. Williams; J. Slinkman
出版日期：1995-01-16
求助人
hhhh 在 2024-12-20 14:28:45 发布自上海，悬赏 10 积分
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