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标题
Effect of W-doping on the structure and properties of DLC films prepared by combining physical and chemical vapor deposition
W掺杂对物理化学气相沉积相结合制备的DLC薄膜结构和性能的影响
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 纳米压痕 X射线光电子能谱 类金刚石碳 溅射沉积 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 物理气相沉积 拉曼光谱 兴奋剂 纳米技术 溅射 复合材料 薄膜 化学工程 光电子学 光学 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.diamond.2023.109687
DOI
10.1016/j.diamond.2023.109687 doi
其它 期刊：Diamond and Related Materials
作者：Runwei Song; Sen Chen; Zhongwei Liu; Chunqing Huo; Qiang Chen
出版日期：2023-02-01
求助人
FJ 在 2024-12-19 12:10:48 发布自陕西，悬赏 10 积分
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