标题 |
Experimental study on surface defect measurement of ultra-precision curved optical components
超精密曲面光学元件表面缺陷测量的实验研究
相关领域
光学
亮度
微电子
材料科学
准确度和精密度
光学仪器
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计量系统
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期刊:Advanced Optical Manufacturing Technologies and Applications 2022; and 2nd International Forum of Young Scientists on Advanced Optical Manufacturing (AOMTA and YSAOM 2022) 作者:hong wang; Xi Hou; Mingze Li; Yang Zhou; Mengfan Li; et al 出版日期:2023-01-09 |
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