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标题
Experimental study on surface defect measurement of ultra-precision curved optical components
超精密曲面光学元件表面缺陷测量的实验研究
相关领域
光学 亮度 微电子 材料科学 准确度和精密度 光学仪器 曲面(拓扑) 计量系统 计算机科学 光电子学 物理 几何学 数学 量子力学 天文
网址
DOI
10.1117/12.2654921 doi
其它 期刊:Advanced Optical Manufacturing Technologies and Applications 2022; and 2nd International Forum of Young Scientists on Advanced Optical Manufacturing (AOMTA and YSAOM 2022)
作者:hong wang; Xi Hou; Mingze Li; Yang Zhou; Mengfan Li; et al
出版日期:2023-01-09
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