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标题
Enabling EUV pattern transfer by optimized under layer
通过优化底层实现EUV图案传输
相关领域
抵抗 极紫外光刻 材料科学 光刻 复合材料 平版印刷术 胶粘剂 极端紫外线 粘附 表面光洁度 表面粗糙度 图层（电子） 纳米技术 光电子学 光学 物理 激光器
网址
https://doi.org/10.1117/12.2583771
DOI
10.1117/12.2583771 doi
其它 期刊：
作者：Soichiro Okada; Keisuke Yoshida; Satoru Shimura
出版日期：2021-02-19
求助人
许乐 在 2024-12-04 11:47:51 发布自上海，悬赏 20 积分
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