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 Impact of AlN Seed Layer on Microstructure and Piezoelectric Properties of YxAl1−xN (x = 15%) Thin Films AlN籽晶层对YxAl1-xN（x=15%）薄膜微观结构和压电性能的影响
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期刊：Advanced Electronic Materials 作者：Shardul Pandit; Michael Schneider; Claudio Berger; Sabine Schwarz; U. Schmid 出版日期：2022-11-28 |
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