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Development of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers
压电微机械超声换能器的研制
相关领域
机电耦合系数
材料科学
PMUT公司
超声波传感器
电容式微机械超声换能器
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传感器
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微电子机械系统
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期刊:Sensors and Actuators A Physical 作者:Firas Akasheh; Todd Myers; J. Fraser; Susmita Bose; Amit Bandyopadhyay 出版日期:2004-01-22 |
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