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标题
Development of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers
压电微机械超声换能器的研制
相关领域
机电耦合系数 材料科学 PMUT公司 超声波传感器 电容式微机械超声换能器 谐振器耦合系数 压电 声学 传感器 电阻抗 声阻抗 制作 微电子机械系统 光电子学 谐振器 电气工程 工程类 医学 物理 替代医学 病理 复合材料
网址
DOI
10.1016/j.sna.2003.11.022 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A Physical
作者:Firas Akasheh; Todd Myers; J. Fraser; Susmita Bose; Amit Bandyopadhyay
出版日期:2004-01-22
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羊羊羊 在 2024-11-29 21:50:11 发布自新疆,悬赏 10 积分
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