The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films - 科研通

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标题	The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films 溅射沉积参数对AlN薄膜压电和力学性能的影响相关领域材料科学溅射薄膜微观结构压电氮化铝氮化物铝薄脆饼溅射沉积复合材料半最大全宽分析化学（期刊）光电子学纳米技术图层（电子）化学色谱法
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mseb.2010.05.026
DOI	10.1016/j.mseb.2010.05.026 doi
求助人	风中的夕阳在 2025-01-23 19:27:53 发布自安徽，悬赏 10 积分
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