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标题
Role of Surface Chemistry of Ceria Nanoparticles in CMP
纳米氧化铈表面化学在CMP中的作用
相关领域
吸附 纳米颗粒 硅酸盐 化学工程 硝酸盐 化学 粒子（生态学） 无机化学 化学机械平面化 离子 胶体 材料科学 纳米技术 抛光 有机化学 复合材料 工程类 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2014-01/38/1425
DOI
10.1149/ma2014-01/38/1425 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Jihoon Seo; Jinok Moon; Ki‐Jung Kim; Yehwan Kim; Sang‐Kyun Kim; et al
出版日期：2014-04-01
求助人
HGalong 在 2024-11-06 09:16:19 发布自河北，悬赏 10 积分
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