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Study of Dynamics in Metallic MEMS Cantilevers—Pull-In Voltage and Actuation Speed 金属MEMS悬臂梁的动力学研究——拉入电压和驱动速度
相关领域
微电子机械系统
悬臂梁
材料科学
电压
模数
光电子学
复合材料
电气工程
工程类
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| 其它 |
期刊:Applied Sciences 作者:Xiaohui Yang; Philipp Kästner; Eireen Käkel; Marek Smolarczyk; Shujie Liu; et al 出版日期:2023 |
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(2025-6-4)