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 DSA patterning options for FinFET formation at 7nm node 7nm节点形成FinFET的DSA构图选择
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Chi-Chun Charlie Liu; Elliott Franke; Fee Li Lie; Stuart Sieg; Hsinyu Tsai; et al 出版日期：2016-03-22 |
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