Research progress on porous low dielectric constant materials

已完结

文献求助详情

标题	Research progress on porous low dielectric constant materials 多孔低介电常数材料的研究进展相关领域材料科学电介质多孔性电容介电常数低介电常数多孔介质纳米技术多孔硅高-κ电介质消散集成电路光电子学工程物理电子工程复合材料电极热力学物理工程类物理化学化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106320
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106320 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Xian Meng; Menglu Li; Quan Sun; Wenhui Fan; Shuang Xia; et al 出版日期：2022-03-01
求助人	wait 在 2024-04-12 14:19:08 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: skylee9527发布了新的文献求助10

1秒前; Xxxxzzz完成签到，获得积分10

1秒前; 文艺的青旋完成签到，获得积分10

2秒前; 五花肉发布了新的文献求助10

2秒前; Jasper上传了应助文件

2秒前; 有魅力老头完成签到，获得积分20

3秒前; Ekko完成签到，获得积分10

4秒前; 草莓驳回了丘比特的应助

5秒前; 充电宝上传了应助文件

5秒前; 皮老八发布了新的文献求助10

5秒前; passionate关闭了passionate的文献求助

5秒前; mhl11的应助被王大禹采纳，获得10

6秒前; Laura发布了新的文献求助10

6秒前; 小蘑菇上传了应助文件

6秒前; 崔佳鑫完成签到，获得积分10

6秒前; 高贵菲菲完成签到，获得积分20

7秒前; smrsmr完成签到，获得积分10

7秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

7秒前; homeworkk完成签到，获得积分10

8秒前; 研友_Ze0vBn完成签到，获得积分10

9秒前; zlx完成签到，获得积分10

9秒前; Satoru的应助被包容豪采纳，获得10

9秒前; 鲤鱼秋灵完成签到，获得积分10

10秒前; 小刘不想搞科研发布了新的文献求助10

10秒前; 共享精神的应助被顺利曼香采纳，获得10

10秒前; 顾矜上传了应助文件

11秒前; jun发布了新的文献求助50

11秒前; Inter09完成签到，获得积分10

12秒前; Cclown2777完成签到，获得积分10

12秒前; 文献的完成签到，获得积分20

12秒前; Hello上传了应助文件

13秒前; zzyytt关闭了zzyytt的文献求助

14秒前; 颜林林完成签到，获得积分10

14秒前; 蓦然回首完成签到，获得积分10

14秒前; 朝晖完成签到，获得积分10

14秒前; 一一完成签到，获得积分10

15秒前; 二娃发布了新的文献求助10

16秒前; 皮老八完成签到，获得积分10

16秒前; 所所的应助被安静海露采纳，获得10

17秒前; 完美世界上传了应助文件

17秒前