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Aluminum doping for optimization of ultrathin and high-k dielectric layer based on SrTiO3
铝掺杂优化SrTiO3基超薄高k介质层
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期刊:Journal of Materials Science and Technology/Journal of materials science & technology 作者:Ji-Ye Baek; Le Thai Duy; Sang Yeon Lee; Hyungtak Seo 出版日期:2020-04-01 |
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