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标题
Effect of Sputtering Pressure on Optical Properties of Ga2O3 Films Prepared by RF Magnetron Sputtering
O2流量对射频磁控溅射Ga2O3生长性能的影响
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AI识别 10.3390/mi14020260 doi
其它 期刊:Micromachines
作者:Dengyue Li; Hehui Sun; Tong Liu; Hongyan Jin; Zhenghao Li; et al
出版日期:2023-01-19
求助人
阿宋 在 2024-09-03 11:49:06 发布自河北,悬赏 10 积分
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