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Effects of gallium doping on the properties of amorphous-SiC:H films prepared by magnetron cosputtering
镓掺杂对磁控共溅射非晶SiC:H薄膜性能的影响
相关领域
材料科学
镓
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Nobuo Saito; Y. Inui; Tetsuo Yamaguchi; I. Nakaaki 出版日期:1998-02-15 |
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