标题 |
Sub-0.5 nm equivalent oxide thickness scaling for Si-doped Zr1−−x Hfx O2 thin film without using noble metal electrode
不使用贵金属电极的掺硅Zr1-xHfxO2薄膜的0.5 nm以下等效氧化物厚度定标
相关领域
材料科学
电介质
等效氧化层厚度
薄膜
无定形固体
四方晶系
兴奋剂
高-κ电介质
分析化学(期刊)
氧化物
介电常数
锡
晶体结构
光电子学
纳米技术
栅氧化层
结晶学
冶金
电气工程
化学
晶体管
色谱法
电压
工程类
|
网址 | |
DOI | |
求助人 | |
下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|