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 Aluminum nitride films on different orientations of sapphire and silicon 不同取向蓝宝石和硅上的氮化铝薄膜
相关领域
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：K. Dovidenko; S. Oktyabrsky; J. Narayan; Manijeh Razeghi 出版日期：1996-03-01 |
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