A vacuum-deposited polymer dielectric for wafer-scale stretchable electronics

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标题	A vacuum-deposited polymer dielectric for wafer-scale stretchable electronics 一种用于晶片级可伸缩电子器件的真空沉积聚合物介质
网址	http://dx.doi.org/10.1038/s41928-023-00918-y
DOI	10.1038/s41928-023-00918-y doi
其它	期刊：作者：无法获取出版日期：
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