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标题
Selective Dry Etching of HfO2 in CF4 and Cl2/HBr-Based Chemistries
CF4和Cl2/HBr基化学中HfO2的选择性干法蚀刻
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.43.1864/meta
DOI
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求助人
roger 在 2024-12-02 12:39:31 发布自北京，悬赏 10 积分
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