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High quality GaN microplatelets grown by metal-organic vapor phase epitaxy on patterned silicon-on-insulator substrates: Toward micro light-emitting diodes
金属有机气相外延在图案化绝缘体上硅衬底上生长高质量GaN微片:用于微发光二极管
相关领域
材料科学
光电子学
外延
发光二极管
硅
二极管
成核
蚀刻(微加工)
微晶
多晶硅
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聚结(物理)
宽禁带半导体
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纳米技术
复合材料
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Kilian Baril; Pierre-Marie Coulon; Matthew Charles; Nabil Labchir; G. Feuillet; et al 出版日期:2023-06-23 |
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