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 New critical dimension optical metrology for submicron high-aspect-ratio structures using spectral reflectometry with supercontinuum laser illumination 超连续谱激光照明光谱反射法用于亚微米高深宽比结构的新临界尺寸光学计量
相关领域
超连续谱
计量学
反射计
临界尺寸
光学
材料科学
激光器
千分尺
纳米
光电子学
纵横比（航空）
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| 其它 |
期刊： 作者：Wei-Hsin Chein; Fu-Sheng Yang; Komal Thakur; Guo-Wei Wu; Liang-Chia Chen 出版日期：2022-05-24 |
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