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标题
New Top-Down Approach for Fabricating High-Aspect-Ratio Complex Nanostructures with 10 nm Scale Features
制备具有10 nm尺度特征的高纵横比复杂纳米结构的自上而下的新方法
相关领域
材料科学 溅射 制作 纵横比(航空) 平版印刷术 纳米结构 纳米技术 高分辨率 聚合物 纳米尺度 纳米光刻 离子 离子束 光电子学 薄膜 化学 复合材料 地质学 医学 病理 遥感 有机化学 替代医学
网址
DOI
10.1021/nl1025776 doi
其它 期刊:Nano Letters
作者:Hwan-Jin Jeon; Kyoung Hwan Kim; Youn-Kyoung Baek; Dae Woo Kim; Hee‐Tae Jung
出版日期:2010-08-17
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