Parametric amplification of a resonant MEMS mirror with all-piezoelectric excitation

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标题	Parametric amplification of a resonant MEMS mirror with all-piezoelectric excitation 全压电激励下谐振MEMS反射镜的参量放大相关领域参量振荡器参数统计材料科学放大器刚度激发机械共振光学电压光参量放大器调制（音乐）物理声学光放大器振动光电子学激光器统计数学 CMOS芯片量子力学复合材料
网址	https://doi.org/10.1063/5.0087067
DOI	10.1063/5.0087067 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Jaka Pribošek; Manu Eder 出版日期：2022-06-13
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