Micromachined ac/dc electric field sensor with modulated sensitivity

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标题	Micromachined ac/dc electric field sensor with modulated sensitivity 具有调制灵敏度的微机械交直流电场传感器相关领域灵敏度（控制系统）电场材料科学电压光电子学表面微加工电气工程物理电子工程制作工程类量子力学医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2016.04.054
DOI	10.1016/j.sna.2016.04.054 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：T. Chen; Cyrus Shafai; Athula Rajapakse; J.S.H. Liyanage; Thomas D. Neusitzer 出版日期：2016-05-02
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