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 Impacts of surface nitridation on crystalline ferroelectric phase of Hf1-xZrxO2 and ferroelectric FET performance 表面氮化对Hf1-xZrxO2晶体铁电相及铁电场效应管性能的影响
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yi-Jan Lin; Chih-Yu Teng; Chenming Hu; Chun-Jung Su; Yuan‐Chieh Tseng 出版日期：2021-11-08 |
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