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标题
Automated AFM for small-scale and large-scale surface profiling in CMP applications
用于CMP应用中小规模和大规模表面轮廓的自动化AFM
相关领域
化学机械平面化 仿形（计算机编程） 扫描仪 表面粗糙度 原子力显微镜 材料科学 计算机科学 表面光洁度 抛光 人工智能 纳米技术 操作系统 复合材料
网址
https://doi.org/10.1117/12.2297521
DOI
10.1117/12.2297521 doi
其它 期刊：
作者：Ardavan Zandiatashbar; Byong Kim; Young-kook Yoo; Keibock Lee; Ahjin Jo; et al
出版日期：2018-03-13
求助人
生动青文 在 2025-02-26 19:03:55 发布自北京，悬赏 20 积分
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