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 High-Performance Solar-Blind Ultraviolet Photodetectors Based on β-Ga2O3 Thin Films Grown on p-Si(111) Substrates with Improved Material Quality via an AlN Buffer Layer Introduced by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition 基于p-Si（111）衬底上生长的β-Ga2O3薄膜的高性能日光盲紫外光探测器通过金属——有机化学气相沉积引入AlN缓冲层改善材料质量
相关领域
材料科学
响应度
光电探测器
光电子学
金属有机气相外延
暗电流
薄膜
异质结
化学气相沉积
无定形固体
紫外线
图层（电子）
基质（水族馆）
外延
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化学
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| 其它 |
期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Chong Gao; Yuefei Wang; Shihao Fu; Danyang Xia; Yurui Han; et al 出版日期：2023-08-02 |
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