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![]() Al对磁控溅射沉积Ti掺杂a-C:H薄膜力学和摩擦学性能的影响
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期刊:Current Applied Physics 作者:Xianjuan Pang; Lei Shi; Peng Wang; Yanqiu Xia; Weimin Liu 出版日期:2010-12-03 |
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