Improved machinability of single crystal silicon by applying in-situ laser-vibration hybrid assisted diamond cutting

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标题	Improved machinability of single crystal silicon by applying in-situ laser-vibration hybrid assisted diamond cutting 原位激光振动复合辅助金刚石切割改善单晶硅加工性能相关领域可加工性材料科学脆性硅钻石激光器金刚石工具金刚石切割复合材料冶金金刚石车削光电子学光学机械加工物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2024.118343
DOI	10.1016/j.jmatprotec.2024.118343 doi
其它	期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Zhang Jian-guo; Xinhuan Li; Yufan Fu; Yunxiang Zheng; Honglei Mo; et al 出版日期：2024-02-01
求助人	小橙在 2025-04-05 15:28:29 发布自福建，悬赏 10 积分
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