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![]() 溶液处理高k Gd掺杂HfO2介电膜使能的亚伏金属氧化物薄膜晶体管
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Hyunhee Kim; Taegyu Kim; Young-Jin Kang; Seoung-Pil Jeon; Jiwan Kim; et al 出版日期:2023-11-01 |
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