Design and Fabrication Method of a Large-Size Electromagnetic MEMS Two-Dimensional Scanning Micromirror

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标题	Design and Fabrication Method of a Large-Size Electromagnetic MEMS Two-Dimensional Scanning Micromirror 一种大尺寸电磁MEMS二维扫描微镜的设计与制作方法相关领域微电子机械系统制作平坦度（宇宙学）薄脆饼材料科学光学电压光电子学物理工程类电气工程宇宙学量子力学医学病理替代医学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2023.3309656
DOI	10.1109/jmems.2023.3309656 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Tong Zhou; Qilong Wu; Bo Pang; Yan Su 出版日期：2023-09-15
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