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标题
Pulsed DC magnetron sputtered Al2O3 films and their hardness
脉冲直流磁控溅射Al2O3薄膜及其硬度
相关领域
材料科学 脉冲直流 纳米压痕 无定形固体 溅射沉积 腔磁控管 基质（水族馆） 高功率脉冲磁控溅射 薄膜 透射电子显微镜 分析化学（期刊） 溅射 光电子学 纳米技术 复合材料 结晶学 化学 海洋学 色谱法 地质学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789720...
DOI
10.1016/j.surfcoat.2007.05.061 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：M. Sridharan; M. Sillassen; J. Bøttiger; J. Chevallier; H. Birkedal
出版日期：2007-05-25
求助人
流年羽 在 2025-03-06 14:27:01 发布自山东，悬赏 10 积分
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