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 Visualization of Vibration In MEMS Resonators Using Stroboscopic Differential Interference Contrast Microscopy with Enhanced Temporal Resolution 使用具有增强时间分辨率的频闪微分干涉对比显微镜可视化MEMS谐振器中的振动
相关领域
频闪仪
微分干涉显微术
谐振器
微电子机械系统
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期刊： 作者：Qian Liu; Mirai Iimori; Chao Li; Ya Zhang 出版日期：2024-01-21 |
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