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[求助补充材料] Metal-insulator-semiconductor type diode based on implanted β-Ga2O3 epilayers grown on sapphire substrate by metalorganic chemical vapor deposition
用金属有机化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长基于注入β-Ga2O3外延层的金属-绝缘体-半导体型二极管
相关领域
材料科学
化学气相沉积
光电子学
金属有机气相外延
二极管
外延
阳极
阴极
击穿电压
蓝宝石
基质(水族馆)
绝缘体(电)
半导体
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期刊:Materials today advances 作者:Ray‐Hua Horng; Apoorva Sood; Siddharth Rana; Niall Tumilty; Fu‐Gow Tarntair; et al 出版日期:2023-06-01 |
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