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Interface Investigation on SiGe/Si Multilayer Structures: Influence of Different Epitaxial Process Conditions
SiGe/Si多层结构界面研究:不同外延工艺条件的影响
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Zhenzhen Kong; Yanpeng Song; Hailing Wang; Xiaomeng Liu; Xiangsheng Wang; et al 出版日期:2023 |
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