Optical properties of Al_2O_3 thin films grown by atomic layer deposition

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标题	Optical properties of Al_2O_3 thin films grown by atomic layer deposition 原子层沉积Al_2O_3薄膜的光学性质相关领域折射率材料科学原子层沉积硅光学薄膜图层（电子）沉积（地质）波长平面的光电子学纳米技术古生物学物理计算机图形学（图像）沉积物计算机科学生物
网址	https://doi.org/10.1364/ao.48.005407
DOI	10.1364/ao.48.005407 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Pradeep Kumar; Monika K. Wiedmann; Charles H. Winter; Ivan Avrutsky 出版日期：2009-09-25
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