AlScN-on-SiC microelectromechanical Lamb wave resonators operating at high temperature up to 800 °C

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标题	AlScN-on-SiC microelectromechanical Lamb wave resonators operating at high temperature up to 800 °C 在高达800°C的高温下工作的AlScN-on-SiC微机电兰姆波谐振器相关领域谐振器宽禁带半导体材料科学光电子学兰姆波微电子机械系统碳化硅工作温度复合材料物理光学表面波热力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0185606
DOI	10.1063/5.0185606 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Wen Sui; NULL AUTHOR_ID 出版日期：2024-07-08
求助人	奋斗不悔在 2024-08-06 15:17:42 发布自上海，悬赏 10 积分
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