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The effect of light soaking on crystalline silicon surface passivation by atomic layer deposited Al2O3
光浸泡对原子层沉积Al2O3晶体硅表面钝化的影响
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Baochen Liao; Rolf Stangl; Thomas Mueller; Fen Lin; Charanjit S. Bhatia; et al 出版日期:2013-01-11 |
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