Superconformal Film Growth: From Smoothing Surfaces to Interconnect Technology - 科研通

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标题	Superconformal Film Growth: From Smoothing Surfaces to Interconnect Technology 超共形薄膜生长：从光滑表面到互连技术相关领域材料科学纳米技术卤化物化学工程化学无机化学工程类
网址	https://doi.org/10.1021/acs.accounts.2c00840
DOI	10.1021/acs.accounts.2c00840 doi
其它	期刊：Accounts of Chemical Research 作者：Thomas P. Moffat; Trevor M Braun; David Raciti; Daniel Josell 出版日期：2023-04-19
求助人	Zzm 在 2023-11-20 08:10:58 发布自江西，悬赏 10 积分
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