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Design and preparation of high-transmittance broadband antireflection coatings with tailored refractive indices deposited by PECVD
相关领域
透射率 等离子体增强化学气相沉积 折射率 宽带 材料科学 光电子学 光学 光学涂层 化学气相沉积 薄膜 纳米技术 物理
网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.111714 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Liangyi Hang; Weiguo Liu; Xu Zhang; Shun Zhou; Junqi Xu; et al
出版日期:2022-11-01
求助人
anna1992 在 2023-05-14 10:47:26 发布自福建,悬赏 10 积分
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