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 Permanent Trimming of Large-Scale Photonic Circuits with a Focused Silicon Ion Beam 用聚焦硅离子束永久修整大规模光子电路
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期刊： 作者：Akhil Varri; Frank Brückerhoff‐Plückelmann; Shabna Taheriniya; Daniel Bernhardt; Torsten Richter; et al 出版日期：2023-01-01 |
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