Prediction model of aspect ratio-dependent etching rate through molecular dynamics-based data processing

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标题	Prediction model of aspect ratio-dependent etching rate through molecular dynamics-based data processing 基于分子动力学的数据处理预测长宽比相关刻蚀速率模型相关领域纵横比（航空）动力学（音乐）蚀刻（微加工）分子动力学材料科学生物系统纳米技术复合材料化学物理计算化学生物声学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1007/s12206-025-0224-3
DOI	10.1007/s12206-025-0224-3 doi
其它	期刊：Journal of Mechanical Science and Technology 作者：Junghwan Um; Sunil Moon; Sung‐Il Cho; Keonwook Kang 出版日期：2025-03-03
求助人	StevenZhao 在 2025-03-13 10:46:56 发布自湖北，悬赏 10 积分
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