Precise removal of ultra-thin SiNx layer deposited on silicon substrate using nanosecond green laser for PERC solar cell fabrication

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标题	Precise removal of ultra-thin SiNx layer deposited on silicon substrate using nanosecond green laser for PERC solar cell fabrication 用纳秒绿光激光精确去除硅衬底上的超薄SiNx层制备PERC太阳电池相关领域材料科学硅烧蚀纳秒激光烧蚀基质（水族馆）图层（电子）光电子学制作太阳能电池激光器热的光学纳米技术航空航天工程气象学病理替代医学工程类地质学物理海洋学医学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mfglet.2022.12.003
DOI	10.1016/j.mfglet.2022.12.003 doi
其它	期刊：Manufacturing letters 作者：Pinal Rana; Ajay Singh; Anil Kottantharayil; Deepak Marla 出版日期：2023-01-01
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