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 SiO2 atomic-layer fluorination-passivation for dual-material molybdenum/polypyrrole area-selective deposition and strategies for surface reactivation 钼/聚吡咯双材料区域选择性沉积的SiO2原子层氟化钝化及表面再活化策略
相关领域
聚吡咯
钝化
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Hwan Oh; Hyuenwoo Yang; N Carroll; Yujin Jang; Gregory N. Parsons 出版日期：2025-03-14 |
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