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 Study of wet etching on long-wavelength InAs/GaSb Type-II superlattices 长波长InAs/GaSbⅡ型超晶格的湿法刻蚀研究
相关领域
材料科学
超晶格
蚀刻（微加工）
光电子学
波长
干法蚀刻
纳米技术
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Yuanbo Zhang; Lidan Lu; Weiqiang Chen; Ruixin Gong; Yuhao Chen; et al 出版日期：2025-02-08 |
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