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 Mid-infrared tunable MEMS Fabry–Pérot interferometer operated at the first interference order 工作在一阶干涉下的中红外可调谐MEMS法布里-珀罗干涉仪
相关领域
干扰（通信）
干涉测量
法布里-珀罗干涉仪
微电子机械系统
红外线的
材料科学
光学
光电子学
物理
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计算机科学
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期刊： 作者：Shaoyu Zhao; Sen Zhang; Wenkai Li; Zhenhai Wu; Fan Wang; et al 出版日期：2025-02-20 |
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