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 Properties of IGZO thin films irradiated by electron beams with various energies 不同能量电子束辐照IGZO薄膜的性质
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材料科学
X射线光电子能谱
无定形固体
辐照
接受者
镓
铟
分析化学（期刊）
薄膜
电子束处理
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光谱学
溅射
光电子学
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期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：So Hyun Jeong; Byung Seong Bae; Kyeong Min Yu; Min Ki Ryu; Kyoung Ik Cho; et al 出版日期：2012-09-01 |
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