Controllable Si micro-structuring by temporally modulated single-shot femtosecond pulse lithography

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标题	Controllable Si micro-structuring by temporally modulated single-shot femtosecond pulse lithography 时间调制单次飞秒脉冲光刻可控硅微结构相关领域平版印刷术飞秒材料科学单发飞秒脉冲结构化光电子学纳米光刻纳米技术光学制作激光器物理病理经济医学替代医学财务
网址	https://doi.org/10.1063/5.0195375
DOI	10.1063/5.0195375 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yang Liu; Ji Huang; Yunxia Ye; Misheng Liang; Zijie Dai; et al 出版日期：2024-04-01
求助人	重要衬衫在 2024-07-15 16:29:04 发布自河南，悬赏 10 积分
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