Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses

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标题	Vertically grown metal nanosheets integrated with atomic-layer-deposited dielectrics for transistors with subnanometre capacitance-equivalent thicknesses 用于亚纳米电容等效厚度晶体管的与原子层沉积电介质集成的垂直生长金属纳米片
网址	https://www.nature.com/articles/s41928-024-01202-3.pdf
DOI	10.1038/s41928-024-01202-3 doi
其它	期刊：Nature Electronics 作者：Lei Zhang; Zhaochao Liu; Wei Ai; Jiabiao Chen; Zunxian Lv; et al 出版日期：2024-07-08
求助人	木木在 2024-07-09 11:53:47 发布自天津，悬赏 20 积分
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