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标题
In‐Volume Laser Direct Writing of Silicon—Challenges and Opportunities (Laser Photonics Rev. 15(11)/2021)
硅的批量激光直写——挑战与机遇(激光光子学修订版15(11)/2021)
相关领域
激光器 光子学 材料科学 体积热力学 光电子学 激发 工程物理 硅光子学 激光科学 纳米技术 光学 物理 工程类 电气工程 量子力学
网址
DOI
10.1002/lpor.202170059 doi
其它 期刊:Laser & photonics reviews
作者:Maxime Chambonneau; David Grojo; Onur Tokel; F. Ömer İlday; Stelios Tzortzakis; et al
出版日期:2021-11-01
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