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[高分] 书籍 Piezoelectric Aluminium Scandium Nitride (AlScN) Thin Films: Material Development and Applications in Microdevices
压电氮化铝钪(AlScN)薄膜的材料发展及其在微器件中的应用
相关领域
材料科学
钪
压电
铝
氮化铝
氮化物
薄膜
纳米技术
复合材料
冶金
图层(电子)
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其它 |
期刊:MDPI eBooks 作者: 出版日期:2023-06-14 |
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